失效判據(jù)舉例
本節(jié)介紹確定晶體管、數(shù)字集成電路和線性集成電路等半導(dǎo)體器件失效判據(jù)的實(shí)際 例子。其他系列半導(dǎo)體器件的失效判據(jù)基本上可用同樣的方法來規(guī)定。
(1)晶體管的失效判據(jù)
表2.1.1列出了晶體管典型特性參數(shù)的失效判據(jù)。由于晶體管的種類和用途的不 同,所以評價(jià)項(xiàng)目也各有側(cè)重。例如:大功率晶體管的熱阻變化、安全工作區(qū)的變化等是 非常重要的項(xiàng)目，而小信號晶體管的噪聲變化、漏電流變化等則是非常重要的項(xiàng)目。因此,應(yīng) 按不同作用而由表

(2)數(shù)字集成電路的失效判據(jù)
表2. 1. 2示出數(shù)字集成電路典型特性參數(shù)的失效判據(jù)。由于數(shù)字集成電路有很大的 安全系數(shù)，很難測出電路組成元件(晶體管、二極管、電阻等)的特性參數(shù)變化，所以失效模 式和特性參數(shù)之間沒有密切的聯(lián)系。很難單純地靠外部測量特性參數(shù)來判斷失效原因， 大規(guī)模集成電路就更困難。但是，當(dāng)內(nèi)部元件的參數(shù)發(fā)生很大變化時(shí)，仍然會(huì)使電路丄作 不正常。為了評價(jià)這些產(chǎn)品的穩(wěn)定性,采用測試元件群（Test Element Group)的方法來 測出一群元件的特性參數(shù)變化，并以此為基礎(chǔ)制定穩(wěn)定而可靠的工藝控制。由此可知，數(shù) 字集成電路的失效判據(jù)是以電路能否有效工作為依據(jù)來規(guī)定的。另外,在大多數(shù)情況下， 査明電源電壓安全系數(shù)和溫度特性等的變化也是一種有效的手段。