申請(qǐng)（專(zhuān)利）號(hào)：CN90107038.6申請(qǐng)日：1990.08.15
公開(kāi)（公告）號(hào)：CN1059039公開(kāi)（公告）日：1992.02.26
主分類(lèi)號(hào)：G03F7/20范疇分類(lèi)：30B
分類(lèi)號(hào)：G03F7/20
優(yōu)先權(quán)：
申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人：中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所
地址：130022吉林省長(zhǎng)春市斯大林大街112號(hào)
國(guó)省代碼：吉林；22
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：仲躋功
國(guó)際申請(qǐng)：
國(guó)際公布：
進(jìn)入國(guó)家日期：
專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu)：中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春專(zhuān)利事務(wù)所
代理人：顧業(yè)華
分案申請(qǐng)?zhí)枺?br /> 頒證日：





摘要：
本發(fā)明涉及一種接觸/接近式大面積紫外均勻輻照光刻(曝光)的方法及其裝置，采用了可將輻照面內(nèi)輻照不均勻度與曝光過(guò)程中產(chǎn)生的曝光不均勻度互相補(bǔ)償?shù)呐紨?shù)光通道光學(xué)積分器、復(fù)合式高次非球面的聚光鏡和可移動(dòng)式曝光方式，使得在增大有效輻照面積的同時(shí)提高了曝光均勻度，為液晶顯示器，特別是液晶電視技術(shù)中的關(guān)鍵器件有源矩陣液晶顯示器的研制提供了有效手段，它還適用于大規(guī)模集成電路和精密印刷電路板的制作及太陽(yáng)紫外輻照模擬實(shí)驗(yàn)等方面。
主權(quán)項(xiàng)：
大面積紫外光刻(曝光)方法，其特征在于在曝光基片的整個(gè)范圍內(nèi)，使輻照不均勻度和曝光不均勻度成反向變化，實(shí)現(xiàn)二者的補(bǔ)償，即采用偶數(shù)個(gè)光通道的光學(xué)積分器，其數(shù)目應(yīng)與聚光鏡形成的輻照分布相匹配，并且各并列光通道元素透鏡口徑不論為何種形狀，其組合通光口徑的形狀，應(yīng)與聚光鏡形成的輻照分布的形狀相同或類(lèi)似。http://m.zhdtlyjq.com